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肺間質纖維化的檢查方法非常多，最常用的檢查方法是薄層的胸部CT，從胸部CT可對肺間質纖維化做鑒別診斷，排除其它問題。此外還有肺功能檢查，肺功能檢查是無創且非常簡易的檢查方法，通過肺功能的變化進一步確診患者是否合并有肺間質的纖維化。另外還可做氣管鏡的檢查，做肺泡的灌洗、涂片檢查。同時通過氣管鏡鉗夾肺組織進行確診。